Po raz pierwszy, urządzenie pizoelektryczne wyprodukowane w technologii MEMS generuje rekordowe 85μW energii elektrycznej z drgań. Upakowany MEMS jest wykorzystywany do zasilania czujników bezprzewodowych. W Centrum Holsta naukowcy IMEC opracowali czujnik temperatury, który w sposób pełni autonomiczny może przesyłać dane drogą bezprzewodową.

Urządzenia wytwarzające energię z drgań sprawdzają się dla częstotliwości drgań od 150-1000Hz co czyni je idealnym rozwiązaniem do konwersji wibracji maszyn, silników i innych urządzeń przemysłowych w energię elektryczną.

Do konstrukcji urządzenia wykorzystuje się krzem (Si) zawieszony na belce z azotku glinu (AlN) – materiał pizoelektryczny. Częstotliwość rezonansowa może być zaprojektowana w zakresie od 150-2000Hz.

To nie tylko rekord mocy (85μW) ale i wykorzystanie AlN jako pizoelektryka jest godnym uwagi osiągnięciem. Przewaga AlN nad powszechnie stosowanymi PZT przejawia się głównie poprzez stechiometryczny charakter materiału co pozwala na składanie AlN od 3 do 4 razy szybciej.

więcej o projekcie na stronie www.physorg.com